FLUORO福乐C003-Y真空吸笔C002-D-X-103

FLUORO福乐C003-Y真空吸笔C002-D-X-103

安全与维护

1. 泄漏检查

●采用水中气泡法检测时，单个气泡可忽略，连续气泡需立即处理。

●防酸系列（如F002-X-02-PK）测试后需用氮气吹干。

2.吸嘴保护

●禁止使用金属工具接触吸嘴，避免划伤PEEK材质。

●测试后需用异丙醇清洁吸嘴，防止化学残留。

设备校准与操作

1.真空泵验证

●测试前需校准真空泵输出压力（如FV-10C002-D-Y-161型号需稳定在-0.1MPa）。

●使用真空度计检测时，需确保传感器精度≤±1%FS。

2.吸附力测试方法

●垂直拉力测试需采用标准砝码（如4英寸晶圆需≥0.8kgf）。

●水平测试时需考虑摩擦系数，安全系数建议≥2.05。