福乐FLUORO福乐真空吸笔C002-D-X/C002-D-

福乐FLUORO福乐真空吸笔C002-D-X/C002-D-Y

一、测试环境控制

1.无尘环境

●测试需在ISO5级以上洁净室进行，避免微粒影响吸嘴密封性。

●导电型号（如90-C）需确保接地电阻≤10Q，防止静电干扰。

2.温湿度要求

●环境温度应控制在20±2°C，湿度≤40%RH，避免橡胶吸嘴变形。

二、设备校准与操作

1.真空泵验证

●测试前需校准真空泵输出压力（如FV-10C002-D-Y-161型号需稳定在-0.1MPa）。

●使用真空度计检测时，需确保传感器精度≤±1%FS。

2.吸附力测试方法

●垂直拉力测试需采用标准砝码（如4英寸晶圆需≥0.8kgf）。

●水平测试时需考虑摩擦系数，安全系数建议≥2.05。