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日本进口涡轮分子泵 UTMーB系列 移动式 爱发科
产品型号:UTMーB
产品品牌:日本爱发科ulvac
产品简介: 采用陶瓷球轴承的复合涡轮分子泵,具有优异的压缩比。采用集成控制器设计,结构紧凑。优异的高背压性能允许使用较小的前级泵。 特征 自由安装安装方向不受限制由于安装方向自由,因此 系统设计的自由度较高。 板载控制器 集成控制器能够减少线路工作并缩小泵送系统的尺寸。 高压缩比和高背压 高压缩比使得泵可以在高背压下运行并缩小其 前级泵的尺寸。 三种法兰 进气口法兰可从ISO-K、ICF、VG中选择。 清洁的真空环境 泵运行和停止时碳氢化合物气体的回流更少。 低噪音 无负载时噪音水平≤48dB(配ISO63-K法兰) 应用 分析设备、研发系统、实验装置等的主泵系统。 蒸发器、溅射系统等的主泵送系统。 主泵系统抽空 H2、He 等低分子气体

日本进口涡轮分子泵 UTMーB系列 移动式 爱发科

冷却方式自然
风冷强制
风冷自然
风冷强制
风冷法兰尺寸入口
*1VG65、ICF114、ISO063-KVG100、ICF152、ISO100-K出口KF16KF16抽气速度
(不带
防护网)氮气70 升/秒280 升/秒他60 升/秒270 升/秒氢气49 升/秒220 升/秒极限
压力
*2烘烤后- *310 -8帕斯卡- *310 -8帕斯卡烘烤前10 -6帕斯卡10 -6帕斯卡10 -6帕斯卡压缩率氮气:
>1×10 9,氦气:4×10 7,氢气:4×10 5氮气:
>1×10 9,氦气:7×10 6 ,氢气:1×10 5
入口压力
*4, *5, *6氮气0.43帕斯卡1.1帕斯卡0.06帕斯卡0.7帕斯卡
出口压力
*4, *5, *7氮气300帕900帕100帕1000帕连续
运行

流量*8无需
气体吹扫氮气15标准立方厘米*940标准立方厘米*910标准立方厘米*10100标准立方厘米*10无需
气体吹扫应收账-10标准立方厘米*9-30标准立方厘米*10带
气体吹扫-15标准立方厘米*9-40标准立方厘米*10推荐使用前级泵
(抽真空 10SCCM 时)
*11>60升/分钟>120升/分钟重量VG:3.3公斤, ISF:3.0公斤, ISO:5.0公斤6.0公斤 / 9.0公斤6.3公斤 / 9.3公斤旋转速度87000转60000转启动时间(80%)
(DC24V.背压5Pa以下)1.7 分钟3.5 分钟表面处理*12没有任何安装方向自由方向噪音 *13<48分贝(声级)<50分贝(声级)控制器输入电源DC24V±5%, 120WDC24V±5%, 180W接点输入
输出信号远程(D-sub 15 针公头)
数字输入:4 点。输出:4 点。模拟输出:1 点。串行通信RS-485(D-sub 15 针公头,与 REMOTE 共享)LED显示屏电源、正常、报警转变开始/停止、重置可变旋转频率/速度运行转速数
可在
泵规格的 25% 至 之间以 0.1% 的步长进行更改。异常操作
检测检测报警、警告。保护电路表示报警、警告。标准配件使用说明书(CD-R)、防护网(仅VG和ICF,
垫圈内置有ISO法兰防护网)、
垫圈(入口法兰)、防尘盖(用于入口、出口和连接器)适用标准CE、TUVus

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