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日本ulvac涡轮分子泵 UTM-MS系列 测雨仪 爱发科
产品型号：UTM-MS
产品品牌：日本爱发科ulvac
产品简介：
这是使用磁力轴承的带独立控制器的涡轮分子泵。我们拥有排气速度为 300 至 4000 L/s 的多种型号。控制器单元可监控运行状态并支持各种通信标准。
特征
泵体与控制器分离，
控制器可监控运行状态，支持多种通讯标准。
自由安装方向
自由安装方向使系统设计更加灵活。
抽速300L/s～4000L/s级产品阵容
泵旋转角度可在 25% 至 100% 之间调节，
通过改变旋转速度可以调节腔内的压力。
高耐久性、安全性
通过了空气冲入试验、接地试验等安全确认试验。
日本ulvac涡轮分子泵 UTM-MS系列 测雨仪 爱发科
主要设备真空抽气系统 用于不产生副反应产物的轻工艺过程的主真空抽气系统。 一般用于高真空抽气系统。日本ulvac涡轮分子泵 UTM-MS系列 测雨仪 爱发科
应用
- 半导体设备
- 蒸发器，溅射系统
- 分析设备，实验装置等。
表格1 *1：表示位数。 表 2 *1：表示位数。规格
模型 UTM300A-MS UTM400A-MS UTM800A-MS UTM1000A-MS 进气口 VG100 / ICF152 VG150 / ICF203 VG200 / ICF253 出水口 KF25 KF40 冷却方式 水冷 空气
冷却水冷 空气
冷却水冷 空气
冷却水冷 空气
冷却极限压力*1 帕 10 -7 10 -8 抽气速度*2 氮气 升/秒 320 420 800 1080 应收账 升/秒 ー 他 升/秒 340 360 800 930 氢气 升/秒 320 340 700 790 压缩率 氮气 1×10 9 他 8× 104 氢气 1× 104 4×10 3 入口压力*3 帕 200 1.3 200 1.3 400 1.3 400 1.3 出口压力*3 帕 400 40 400 40 665 40 665 40 旋转速度 转速 45000 35000 启动时间 5分钟或更短 安装位置 朝任意方向 表面处理 镀镍 冷却水 流速 升/分钟 1～3 ー 1～3 ー 1～3 ー 1～3 ー 压力 压力 02～0.5 ー 02～0.5 ー 02～0.5 ー 02～0.5 ー 噪音 分贝(声级) 60 重量 公斤 14 33 三十二 推荐前级泵 200L/略多 500L/略多 控制器 作品 分离型 输入电功率 单相AC200〜240V±10％（50/60Hz±2Hz） 功率 0.55 1.0 速度变化 转速在额定转速的25%~之间可调（设定为0.1%） 沟通 接触 串口：RS-232C / RS-485 重量 公斤 8
*2：无防护网。
*3：入口压力和出口压力不能同时满足。模型 UTM1300A-MS UTM1500A-MS UTM2400A-MS UTM3400A-MS UTM4300A-MS 进气口 VG200 / ICF253 VG250 VG300 / VG350 VG350 出水口 KF40 冷却方式 水冷 极限压力*1 帕 10 -7 抽气速度*2 氮气 升/秒 1300 1500 2100 3200 4400 应收账 升/秒 ー 2000 3100 4200 他 升/秒 1050 1200 2240 3100 ー 氢气 升/秒 750 800 1770 2200 2600 压缩率 氮气 6×10 8 1×10 9 他 1× 104 7×10 4 1×10 5 3× 104 氢气 1× 103 3×10 3 6×10 3 2× 103 入口压力*3 帕 133 40 出口压力*3 帕 270 270 旋转速度 转速 30300 27000 27600 24000 启动时间 7分钟或更短 11分钟或更短 12分钟或更短 18分钟或更短 安装位置 朝任意方向 表面处理 镀镍 冷却水 流速 升/分钟 1～3 2～4 压力 压力 02～0.5 噪音 分贝(声级) 60 57 60 重量 公斤 三十九 四十二 70 84 105 推荐前级泵 600L/略多 1300L/略多 1500L/略多 控制器 作品 分离型 输入电功率 单相AC200〜240V±10％（50/60Hz±2Hz） 功率 1.0 1.5 速度变化 转速在额定转速的25%~之间可调（设定为0.1%） 沟通 接触 串口：RS-232C / RS-485 重量 公斤 8
*2：无防护网。
*3：入口压力和出口压力不能同时满足。
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