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日本低温泵 CRYO-U 系列 CRYO-U20P
产品型号:CRYO-U20P
产品品牌:日本爱发科ulvac
产品简介: CRYO-U系列是使用2级GM制冷机的低温泵,可进行高真空排气。 根据FPD、半导体、电子设备、光学、研发等用途,有从小型到大型的多种产品可供选择。 特征 适用于大型沉积系统和其他生产设备。 适用于批量型大型沉积系统。
产品介绍.
日本低温泵 CRYO-U 系列 CRYO-U20P
抽速(20℃)
氮
升/秒
10,000
氢
18,000
氩气
8,400
水
29,000
极限压力
帕(托)
10
-7
(10
-9
)
流速
氩气
帕・升/秒(托・升/秒)
1.1×10
3
(8.7)
氢
5.0×10
2
(3.7)
泵送能力
氩气
帕・升(托・升)
5.8×10
8
(4.4×10
6
)
氢
4.6×106
(
3.4×
104
)
冷却时间
(电源循环)
小值(Hz)
180/160(50/60)
安装法兰
UVG-500
压缩机组
C30VRT
重量
公斤
69.0
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