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日本低温泵 CRYO-U 系列 CRYO-U20P
产品型号:CRYO-U20P
产品品牌:日本爱发科ulvac
产品简介: CRYO-U系列是使用2级GM制冷机的低温泵,可进行高真空排​​气。 根据FPD、半导体、电子设备、光学、研发等用途,有从小型到大型的多种产品可供选择。 特征 适用于大型沉积系统和其他生产设备。 适用于批量型大型沉积系统。

日本低温泵 CRYO-U 系列 CRYO-U20P

抽速(20℃)升/秒10,000
18,000
氩气8,400
29,000
极限压力帕(托)10 -7 (10 -9 )
流速氩气帕・升/秒(托・升/秒)1.1×10 3 (8.7)
5.0×10 2 (3.7)
泵送能力氩气帕・升(托・升)5.8×10 8 (4.4×10 6 )
4.6×106  3.4× 104
冷却时间
(电源循环)
小值(Hz)180/160(50/60)
安装法兰UVG-500
压缩机组C30VRT
重量公斤69.0


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