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爱发科日本CRYO-U16 进口低温泵 CRYO-U 系列
产品型号:CRYO-U16
产品品牌:日本爱发科ulvac
产品简介: CRYO-U系列是使用2级GM制冷机的低温泵,可进行高真空排​​气。 根据FPD、半导体、电子设备、光学、研发等用途,有从小型到大型的多种产品可供选择。 特征适用于中、大型设备。适用于批量型大型沉积系统。耐热负荷。

爱发科日本CRYO-U16 进口低温泵 CRYO-U 系列

抽气速度(20℃)升/秒5,000
10,000
氩气4,200
16,000
极限压力帕(托)10 -7 (10 -9 )
流速氩气帕・升/秒(托・升/秒)1.4×10 3 (11.0)
4.1×102  3.1)
泵送能力氩气帕・升(托・升)4.3×10 8 (3.3×10 6 )
2.4×106  1.8× 104
冷却时间
(电源循环)
小值(Hz)110/100(50/60)
安装法兰UVG-400
压缩机组C30VRT
重量公斤61.0


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