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爱发科日本CRYO-U16 进口低温泵 CRYO-U 系列
产品型号:CRYO-U16
产品品牌:日本爱发科ulvac
产品简介: CRYO-U系列是使用2级GM制冷机的低温泵,可进行高真空排气。 根据FPD、半导体、电子设备、光学、研发等用途,有从小型到大型的多种产品可供选择。 特征适用于中、大型设备。适用于批量型大型沉积系统。耐热负荷。
产品介绍.
爱发科日本CRYO-U16 进口低温泵 CRYO-U 系列
抽气速度(20℃)
氮
升/秒
5,000
氢
10,000
氩气
4,200
水
16,000
极限压力
帕(托)
10
-7
(10
-9
)
流速
氩气
帕・升/秒(托・升/秒)
1.4×10
3
(11.0)
氢
4.1×102
(
3.1)
泵送能力
氩气
帕・升(托・升)
4.3×10
8
(3.3×10
6
)
氢
2.4×106
(
1.8×
104
)
冷却时间
(电源循环)
小值(Hz)
110/100(50/60)
安装法兰
UVG-400
压缩机组
C30VRT
重量
公斤
61.0
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