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日本低温泵 CRYO-U 系列 CRYO-U12HSP 爱发科
产品型号:CRYO-U12HSP
产品品牌:日本爱发科ulvac
产品简介: CRYO-U系列是使用2级GM制冷机的低温泵,可进行高真空排​​气。 根据FPD、半导体、电子设备、光学、研发等用途,有从小型到大型的多种产品可供选择。 特征 氩气的抽真空能力约为标准型号(U12H)的两倍。 氢气排气量约为标准型号(U12H)的1.5倍。 播放间隔变得更长,有助于提高设备的可用性。

日本低温泵 CRYO-U 系列 CRYO-U12HSP 爱发科

抽速(20℃)升/秒4,100
6,000
氩气3,400
9,500
极限压力帕(托)10 -7 (10 -9 )
流速氩气帕・升/秒(托・升/秒)2.0×10 3 (15.0)
4.1×102  3.1)
泵送能力氩气帕・升(托・升)4.4×10 8 (3.3×10 6 )
1.6×10 6 (1.2×10 4 )
冷却时间
(电源循环)
小值(Hz)90/80(50/60)
安装法兰UVG-300,10 B美国标准
压缩机组C30VRT
重量公斤四十二

*维护间隔:16,000小时
可移动底座为选配


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