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ulvac日本低温泵 CRYO-U 系列 低温U8HSP 爱发科
产品型号:U8HSP
产品品牌:日本爱发科ulvac
产品简介: CRYO-U系列是使用2级GM制冷机的低温泵,可进行高真空排​​气。根据FPD、半导体、电子设备、光学、研发等用途,有从小型到大型的多种产品可供选择。 特征适用于溅射工艺。氩气置换量约为传统型号(U8H)的2.5倍。氢气排气率提高至传统型号(U8H)的约1.2倍。播放间隔变得更长,有助于提高设备的可用性。多台操作(最多 3 台)规格

ulvac日本低温泵 CRYO-U 系列 低温U8HSP 爱发科

抽速(20℃)升/秒1,700
3,200
氩气1,400
4,000
极限压力帕(托)10 -7 (10 -9 )
流速氩气帕・升/秒(托・升/秒)1.2×10 3 (8.9)
2.4×10 2 (1.8)
泵送能力氩气帕・升(托・升)2.5×10 8 (1.9×10 6 )
1.0×10 6 (7.8×10 3 )
冷却时间
(电源循环)
小值(Hz)125/115(50/60)
安装法兰UVG-200,6 B ANSI,UFC-253
压缩机组C10T,C10AT

公斤33.2


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