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ulvac日本低温泵 CRYO-U 系列 低温U8H-U
产品型号:U8H-U
产品品牌:日本爱发科ulvac
产品简介: CRYO-U系列是使用2级GM制冷机的低温泵,可进行高真空排​​气。 根据FPD、半导体、电子设备、光学、研发等用途,有从小型到大型的多种产品可供选择。 特征 可与 CTI 的 CT-8 互换。 高氢气泵送能力。 多台操作(最多 3 台) 超高真空(10-8 Pa或更低)

ulvac日本低温泵 CRYO-U 系列 低温U8H-U

抽速(20°)升/秒1,700
2,700
氩气1,400
4,000
极限压力帕(托)10 -7 (10 -9 )
吞吐量氩气帕・升/秒(托・升/秒)1.2×10 3 (8.9)
2.4×10 2 (1.8)
泵送能力氩气帕・升(托・升)1.0×10 8(7.6×10 5
1.0×10 6 (7.6×10 3 )
冷却时间小值(Hz)100/90(50/60)
安装法兰UVG-200,6 B ANSI,UFC-253
压缩机组C10T,C10AT
低温泵重量公斤20.8

*维护间隔:每16,000小时


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