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ulvac日本低温泵 CRYO-U 系列 低温U8H-U
产品型号:U8H-U
产品品牌:日本爱发科ulvac
产品简介: CRYO-U系列是使用2级GM制冷机的低温泵,可进行高真空排气。 根据FPD、半导体、电子设备、光学、研发等用途,有从小型到大型的多种产品可供选择。 特征 可与 CTI 的 CT-8 互换。 高氢气泵送能力。 多台操作(最多 3 台) 超高真空(10-8 Pa或更低)
产品介绍.
ulvac日本低温泵 CRYO-U 系列 低温U8H-U
抽速(20°)
氮
升/秒
1,700
氢
2,700
氩气
1,400
水
4,000
极限压力
帕(托)
10
-7
(10
-9
)
吞吐量
氩气
帕・升/秒(托・升/秒)
1.2×10
3
(8.9)
氢
2.4×10
2
(1.8)
泵送能力
氩气
帕・升(托・升)
1.0×10
8
(7.6×10
5
)
氢
1.0×10
6
(7.6×10
3
)
冷却时间
小值(Hz)
100/90(50/60)
安装法兰
UVG-200,6
B
ANSI,UFC-253
压缩机组
C10T,C10AT
低温泵重量
公斤
20.8
*维护间隔:每16,000小时
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