产品简介： MS系列真空泵属于螺杆式干式真空泵。这是一款耐过程干式真空泵，在传统LS 系列的基础上改进了耐腐蚀性和粉末排放性能。设计用于涉及腐蚀性气体或粉末抽真空的真空工艺。 特征 对转子轴、筒体等主要部件进行特殊的表面处理，具有较高的耐腐蚀性。 ULVAC 独特的螺杆式转子轴设计实现了高粉末排出性能。 可在从大气压到极限压力的整个压力范围内连续运行。 目的 电子零件、半导体制造设备用真空排气系统 蚀刻设备、灰化设备、等离子清洗设备等 真空热处理炉、真空抽气系统 烧结炉、渗碳炉等。 锂电池制造设备真空排气系统 电极干燥设备、消泡设备、注液设备等 医疗及食品相关设备真空排气冷冻干燥设备 、真空干燥设备等。 *MS1200A 可单独购买，并添加控制板和传感器。请联系我们。