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日本进口ulvac涡轮分子泵 UTM-MS系列
产品型号：UTM-MS
产品品牌：日本爱发科ulvac
产品简介：
这是带有使用磁力轴承的独立控制器的涡轮分子泵。我们拥有一系列抽速为 300 至 4000L/s 的型号。控制器部分可以监控运行状态并兼容各种通信标准。特征泵体和控制器是分开的，控制器可以监控运行状态，并兼容各种通信标准。自由安装方向由于安装方向没有限制，因此设备设计的自由度增加。产品阵容包括抽速 300L/s 至 4000L/s泵转速可在25%至100%范围内变化，腔室压力可调节。高耐用性和安全性通过了各种安全确认测试，包括大气进入测试和着陆测试。目的各种设备的真空主排气系统半导体制造设备气相沉积设备溅射设备分析设备、实验设备等研发设备不产生副反应产物的轻工艺主排气系统其他一般高真空排气应用
日本进口ulvac涡轮分子泵 UTM-MS系列
| 模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 进气口 | VG100/ICF152 | VG150/ICF203 | VG200/ICF253 | |||||||
| 排气口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷却方式 | 水冷 | 风冷 | 水冷 | 风冷 | 水冷 | 风冷 | 水冷 | 风冷 | ||
| 极限压力*1 | 帕 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
| 排气速度*2 | 氮气 | 升/秒 | 320 | 第420章 | 800 | 1080 | ||||
| 氩气 | 升/秒 | - | ||||||||
| 他 | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| 氢2 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 第790章 | |||||
| 压缩率 | 氮气 | 1×10 9 | ||||||||
| 他 | 8×10 4 | |||||||||
| 氢2 | 1×10 4 | 4× 103 | ||||||||
| 入口压力*3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 排气口压力*3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 第665章 | 40 | 第665章 | 40 | |
| 转数 | 转速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 启动时间 | 5分钟内 | |||||||||
| 安装方向 | 可全方位安装 | |||||||||
| 表面处理 | 镀镍 | |||||||||
| 冷却水 | 流量 | 升/分钟 | 1～3 | - | 1～3 | - | 1～3 | - | 1～3 | - |
| 水压力 | 兆帕G | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | |
| 噪音 | 分贝(A) | 60 | ||||||||
| 大量的 | 公斤 | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 推荐辅助泵 | 200L/分钟以上 | 500L/min以上 | ||||||||
| 控制器 | 作品 | 单独放置 | ||||||||
| 输入功率 | 单相AC200～240V±10%（50/60Hz±2Hz） | |||||||||
| 所需功率 | 千伏安 | 0.55 | 1.0 | |||||||
| 变速功能 | 运行速度可在泵速度的 25% 至 之间变化（以 0.1% 增量设置） | |||||||||
| 外部控制 | 接点输入/输出 | |||||||||
| RS-232C/RS-485 | ||||||||||
| 大量的 | 公斤 | 8 | ||||||||
*1：表示顺序。
*2：不含保护网的值。
*3：进气口压力和排气口压力条件不能同时满足。
表2
| 模型 | UTM1300A-MS | UTM1500A-MS | UTM2400A-MS | UTM3400A-MS | UTM4300A-MS | ||
| 进气口 | VG200/ICF253 | VG250 | VG300 / VG350 | VG350 | |||
| 排气口 | KF40 | ||||||
| 冷却方式 | 水冷 | ||||||
| 极限压力*1 | 帕 | 10 -7 | |||||
| 排气速度*2 | 氮气 | 升/秒 | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| 氩气 | 升/秒 | - | 2000年 | 3100 | 4200 | ||
| 他 | 升/秒 | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | - | |
| 氢2 | 升/秒 | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 压缩率 | 氮气 | 6×10 8 | 1×10 9 | ||||
| 他 | 1×10 4 | 7×10 4 | 1×10 5 | 3×10 4 | |||
| 氢2 | 1×10 3 | 3×10 3 | 6× 103 | 2×10 3 | |||
| 入口压力*3 | 帕 | 133 | 40 | ||||
| 排气口压力*3 | 帕 | 270 | 270 | ||||
| 转数 | 转速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 启动时间 | 7分钟内 | 11分钟内 | 12分钟内 | 18分钟内 | |||
| 安装方向 | 可全方位安装 | ||||||
| 表面处理 | 镀镍 | ||||||
| 冷却水 | 流量 | 升/分钟 | 1～3 | 2～4 | |||
| 水压力 | 兆帕G | 02～0.5 | |||||
| 噪音 | 分贝(A) | 60 | 57 | 60 | |||
| 大量的 | 公斤 | 39 | 42 | 70 | 84 | 105 | |
| 推荐辅助泵 | 600L/min以上 | 1300L/min以上 | 1500L/min以上 | ||||
| 控制器 | 作品 | 单独放置 | |||||
| 输入功率 | 单相AC200～240V±10%（50/60Hz±2Hz） | ||||||
| 所需功率 | 千伏安 | 1.0 | 1.5 | ||||
| 变速功能 | 运行速度可在泵速度的 25% 至 之间变化（以 0.1% 增量设置） | ||||||
| 外部控制 | 接点输入/输出 | ||||||
| RS-232C/RS-485 | |||||||
| 大量的 | 公斤 | 8 | |||||
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