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日本ulvac进口涡旋式干式真空泵 DIS・DISL 系列 DIS-90
产品型号：DIS-90
产品品牌：日本爱发科ulvac
产品简介：
特征
体积小、排量大。
干式真空泵的最高极限压力水平。
内置自动复位型热保护器的安全设计。
通过空气冲洗抑制水分凝结。
应用
分析设备。
气体回收系统。
涂装设备。
TMP 的后泵。
氦气泄漏检测仪。
半导体的制造工艺。
日本ulvac进口涡旋式干式真空泵 DIS・DISL 系列 DIS-90
| 单元50赫兹60赫兹实际抽速※1升/分钟90108极限压力帕（千帕）5.0马达※2 单相，100/115/200/230V，150W，4P 电容启动/运行满载电流A2.6/1.3/1.6(100/200/230伏)2.1/2.2/1.1/1.1(100/115/200/230伏)重量公斤14.0入口法兰 KF-25出口管径 KF-16环境温度℃5～40水汽处理克/天≦5 以下（AFopen ※3、室温25℃、湿度60％以下）噪音水平D b≦52 （AF开启※3 , ≦57）外形尺寸毫米214(宽)×308(长)×225(高) |
※1：实际排气速度约为吸入大气压气体时的实际排气速度的1.2倍。
※2：不附带电源插头、电源电线。
※3：AF＝Air flush空气冲洗操作不仅能排出泵内残留的水，而且还有恢复极限压力的效果。
对应儀式／电压
| 模型适用标准※ＣＥ确认声明1φ100V系列1φ200V系列3φ200V系列3φ400V系列DIS-90紫外线●●(可通过更换端子板进行切换)－－ |
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