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日本进口爱发科RLS1200A
产品型号：RLS1200A
产品品牌：日本爱发科ulvac
产品简介：
C 型：洁净工艺（LS***AC）
特点：低功耗型号（内置 ECO-SHOCK）
应用：用于空气和 N2 G14 溅射/气相沉积/
层压/负载锁室/TMP 前级泵等洁净工艺。
L型：轻工艺（LS***AL）
特点：轻工艺型号（附表面处理和清洗功能）
用途：用于蒸汽和挥发性药液等轻工艺 / 真空干燥 /
冷冻干燥 / 灰化 / 一般工业用途等。
日本进口爱发科RLS1200A
| 模型 | （C：C型） （L：L型） | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | |||||
| C | 大号 | C | 大号 | C | 大号 | C | 大号 | |||
| 抽速 | 立方米/小时 | 120 | 380 | 600 | 1000 | |||||
| 极限压力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |||||||
| 电源 | 200V级：3相,50/60Hz,AC200-240V或400V级：3相,50/60Hz,AC380-480V | |||||||||
| 功耗*1 | 千瓦 | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 | |
| 冷却水 流量 | 升/分钟 | >2.0 | >4.0 | |||||||
| 吹扫气体流量 *2 | 空间光调制器 | − | 0～50 | − | 0～50 | − | 0～50 | − | 0～50 | |
| 耐水蒸气性 *3 | 公斤/小时 | − | 1.5 | − | 1.5 | − | 1.5 | − | 1.5 | |
| 噪音 *1 | 分贝(声级) | 61 | 61 | 62 | 64 | |||||
| 进气口 | 进气口 KF50(水平)／ VG50(垂直) | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | ||||||
| 出水口 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | ||||||
| 重量 | 公斤 | 142 | 220 | 242 | 266 | |||||
| 适用标准 | CE、cTUVus | |||||||||
| 标准附件 | 电源连接器、防水线夹、遥控连接器、电源连接器防护装置 | |||||||||
| 泵头选项 | 电源：200V级或400V级，密封材质：FFKM(仅L型) | |||||||||
| 外部选项 | MBP 入口法兰适配器、封装排气口、防震支架、LR 兼容 单元（入口、远程）、吹扫气体阀 | |||||||||
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