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日本进口爱发科RLS1200A
产品型号:RLS1200A
产品品牌:日本爱发科ulvac
产品简介: C 型:洁净工艺(LS***AC) 特点:低功耗型号(内置 ECO-SHOCK) 应用:用于空气和 N2 G14 溅射/气相沉积/          层压/负载锁室/TMP 前级泵等洁净工艺。 L型:轻工艺(LS***AL) 特点:轻工艺型号(附表面处理和清洗功能) 用途:用于蒸汽和挥发性药液等轻工艺 / 真空干燥 /          冷冻干燥 / 灰化 / 一般工业用途等。

日本进口爱发科RLS1200A

模型 (C:C型)
 (L:L型)
LS120ALS300ALS600ALS1200A
C大号C大号C大号C大号
抽速立方米/小时1203806001000
极限压力≦0.6≦0.1
电源200V级:3相,50/60Hz,AC200-240V或400V级:3相,50/60Hz,AC380-480V
功耗*1千瓦0.62.01.02.51.32.61.32.7
冷却水
流量
升/分钟>2.0>4.0
吹扫气体流量
*2
空间光调制器0~500~500~500~50
耐水蒸气性
*3
公斤/小时1.51.51.51.5
噪音 *1分贝(声级)61616264
进气口进气口
KF50(水平)/
VG50(垂直)
ISO-F-50ISO-F-80ISO-F-100
出水口KF40KF40KF40KF40
重量公斤142220242266
适用标准CE、cTUVus
标准附件电源连接器、防水线夹、遥控连接器、电源连接器防护装置
泵头选项电源:200V级或400V级,密封材质:FFKM(仅L型)
外部选项MBP 入口法兰适配器、封装排气口、防震支架、LR 兼容
单元(入口、远程)、吹扫气体阀


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