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日本进口爱发科ULVAC螺杆式干式真空泵MS120A
产品型号：MS120A
产品品牌：日本爱发科ulvac
产品简介：
MS系列真空泵属于螺杆式干式真空泵，在传统LS系列
的基础上，作为耐腐蚀型，提升了耐粉尘排气性能，是针对使用腐蚀性气体和粉尘排气工艺而设计的机型。
特征
对转子轴、气缸等主要部件进行特殊涂层处理，提高耐腐蚀性能
采用ULVAC独特设计的转子轴，实现高性能排粉
实现接近大气压的连续抽气
应用
半导体和电子设备制造设备的真空系统，用于
蚀刻、灰化、等离子清洗等。
烧结、渗碳等炉的真空系统。锂离子电池制造设备的真空系统电极干燥、脱气、真空注射等。医疗和食品用真空系统冷冻干燥、真空干燥等。
日本进口爱发科ULVAC螺杆式干式真空泵MS120A
| 模型 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 抽气速度*1 | 立方米/小时 | 115 | 560 | 980 |
| 极限压力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 电源 | 200V级：3相, 50/60Hz, AC200-240V±10% 或 400V级：3相, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
| 功耗*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >4.0 | ||
| 吹扫气体流量*1 | 空间光调制器 | 0~50 | ||
| 耐水蒸气性*1*3 | 公斤/小时 | 1.5 | ||
| 噪音 *2 | 分贝(声级) | 61 | 62 | 64 |
| 进气口 | KF50(卧式) / VG50(立式) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 出水口 | KF40 | |||
| 重量 *4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 适用标准 | CE、cTUVus | |||
| 标准附件 | 快速手册、电源连接器、防水电缆夹、遥控连接器、电源连接器防护罩、消音器 | |||
| 泵头选项 | 电源：200V级或400V级 密封材质：FKM或FFKM | |||
| 外部选项 | 包装排气口、防震支架、LR 兼容单元（入口、远程）、吹扫气阀 | |||
*1：参考值
*2：极限压力（仅供参考）
*3：水蒸气耐受量为使用吹扫气体时的值。
*4：包括消音器
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