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日本进口新宇宙XP-703DIII 半导体材料气体检测
测对象气体
半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
检测气体名称
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
可检测小浓度
(单位:ppm)
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内
尺寸
W38×H130×D30mm
业务小陈
业务小彭
业务小周
业务小李
服务热线
400-850-5208