服务热线
400-850-5208
日本小野LV-2100A激光干涉位移计系统
日本小野LV-2100A激光干涉位移计系统
常规的振动位移检测集中在从加速度(m / s 2)或速度(m / s)到位移的转换。然而MEMS(微机电系统)或压电元件的应用的致动器通常是那些表现为矩形的驱动和直流偏移,在位移转换的正确位移测量通过在现有的加速度传感器的积分处理和激光多普勒振动计这是不可能的。
激光干涉位移计LV-2100A是1兆赫处于卸载,非接触取样MEMS和压电元件小和高速振动位移,高位移分辨率0.155纳米,可以直接从DC检测。激光光斑直径小至φ1.5μm,空间分辨率高。
数字位移输出的分辨率范围相关分辨率没有降低(与模拟输出相比)。
各种硬件和软件组,如FFT分析仪和“Oscope / Oscope Professional时间序列分析工具”,包括可选的位移分析软件(LV-0930),支持更有效的测量和分析。
特点
位移分辨率0.155 nm随着
振动频率的增加,位移也会减小,因此难以用传统的激光位移计进行测量。LV-2100A可以检测0.155 nm分辨率的位移。
高达1 MHz的高速采样
LV-2100A通过1 MHz的高速采样检测振荡位移。利用0.155nm分辨率的性能,可以检测待测量的宽物体从一般机械振动到MEMS和压电元件的振荡位移。
数据是模拟和数字输出LV-2100A可以输出
模拟电压和数字数据的检测数据。模拟位移输出为DC - 100 kHz,数字位移输出通过USB 2.0高速传输到PC。可以立即在PC上处理数字数据,而不受传输错误和阻抗的影响。
使用CCD相机轻松检测微小物体
通过安装可选的视频观察装置(LV-0180),LV-2100A可以在检查激光束同轴位置的照射位置的同时工作。这样,可以将激光地定位和照射到小部件和小部件上。通过安装可选的物镜(LV-0155),可以增加观察倍率并将激光光斑缩小到φ3μm。
丰富的数据分析工具,硬性和软性
LV-2100A可以输出所有位移数据作为数字数据。通过使用可选的位移分析软件(LV-0930),LV-2100A检测到的振动位移数据可以从叠加到大的位移到微小的位移进行测量。还可以通过将位移数据转换为速度和加速度来进行分析。此外,时间序列分析工具选项“Oscope 2”可以进行各种分析,如FFT分析,速度,加速度转换。结合FFT分析仪,我们还可以启用丰富的多功能软件,以数字方式处理微小位移并提取信号,直到数字处理振动位移波形和频率分析。
*需要位移分析软件“LV - 0930”才能在PC上接收数字数据。
※Oscope 2将以CSV格式导入。
传感器单元
检测解调方法 | 通过光学外差检测进行位移解调 |
---|---|
光源 | He-Ne激光(波长632.8 nm) |
退出灯输出 | 1 mW或更低(符合FDA 2的JISC 6802标准) |
焦距 | 100毫米〜∞ |
测量范围 | 使用反光带(LV-0012):使用±10 mm 角隅棱镜:±5 m |
激光光斑直径 | 焦距100毫米,φ20微米或更小 |
镜头部分 | 可在可设定范围内任意设定手动设定 |
显示单元 | ●干扰电平指示:10段LED条 ●检测ERROR指示:红色LED亮 |
主传感器固定孔 | M8×1(Helisert强化) |
辅助固定孔 | M4×2(Helisert强化) |
信号线 | 长度3米 (电缆弯曲半径:50毫米或更小,电缆壳体::阻燃UL认证材料PVC黑色) |
块 | 500克(不含电缆) |
位移转换单位
模拟输出 | 模拟输出 | ±10 V(输入阻抗为100kΩ或更高) |
---|---|---|
截止频率 | DC:DC至100 kHz(fc = -3 dB) AC:0.3 Hz至100 kHz(fc = -3 dB) | |
线性 | ±0.1%/ FS | |
模拟纹波 | 2 mVp-p或更低 | |
输出阻抗 | 50Ω(小输入阻抗100kΩ或更高) | |
输出端子 | BNC(二氧化碳型) | |
模拟位移范围 | 测量速度 | 5.0米/秒(所有范围) |
范围指示 | 选择范围显示7段LED | |
设定范围 | 范围测量范围模拟小分辨率数字分辨率0.1 mV±1μm0.15纳米0.155nm1μm/ V.±10μm0.3纳米5μm/ V.±50μm1.5纳米10μm/ V.±100μm3纳米100μm/ V.±1毫米30纳米2毫米/ V.±20毫米618纳米0.1米/伏±1.0米30微米0.5米/伏±5.0米154微米1米/ V.±10米309毫米 | |
范围超过显示 | 红色LED亮度超过100% | |
重置指示 | 位移零重置操作·输入时绿色LED亮起 | |
采样频率 | 模拟输出:1 MHz固定 数字输出:通过可变地位移分析软件(LV-0930) (1兆赫,500千赫,200千赫,100千赫,50千赫,20千赫,10千赫,5千赫,2千赫兹,1千赫,500赫兹,200赫兹, 100赫兹,50赫兹,20赫兹,10赫兹,5赫兹,2赫兹,1赫兹,0.5赫兹) | |
数字输出 | USB Ver.2.0(全速) 连接器类型:迷你B型 | |
EXT信号输入 | 位移零重置信号输入/ TRIG信号输入
| |
SYNCHRONOUS信号输入/输出 | 同步连接器(连接两个时)
|
激光单元
探测器灵敏度切换 | 滑动开关3步切换 |
---|---|
监视输出 * 输出干扰电平作为电压输出 | 模拟输出:0至10 V 输出阻抗:50Ω或更小 输出端子:BNC(CO 2型) |
显示单元 | ●干扰电平指示:20段LED条 ●激光状态指示::激光辐射时绿色LED亮起 ●ERROR指示:测量错误时红色LED亮起 |
存储 | 传感器可伸缩,电缆可重绕 |
安全锁 | 关闭激光光路(短路激光辐射),无电压1a接触输入 |
使用的电源 | AC 100至240 V 50/60 Hz |
功耗 | 70 VA或更低 |
工作温度范围 | -5至+ 40°C |
工作湿度范围 | 相对湿度为30%至80%(无结露) |
储存温度范围 | -10至+ 50°C |
块 | 身体:12公斤(包括传感器) |
外部尺寸 | 393(W)×222(D)×135(H)mm |
符合性标准
本仪器根据以下标准进行设计和检查。
“JIS C 6802(激光产品的辐射安全标准)”
“IEC 60825-1:2007”“FDA(CDRH)”
“FCC(第15 B部分)”“加拿大EMI法规(ICES - 003)”