日本Fluoro福乐小型真空泵FV-10/FV-XP高效空气微粒过滤器

日本Fluoro福乐小型真空泵FV-10/FV-XP高效空气微粒过滤器

FV-XP 在保持紧凑外形的同时，通过多级隔膜结构实现了比入门级 FV-10 更高的真空度和流量。

1. 多级隔膜技术 (Multi-stage Diaphragm)

FV-XP 的核心在于其内部的密封隔膜设计。通过多级增压结构，它在极小的机身内实现了 -60 kPa 的高负荷真空压。这使得它不仅能驱动微型吸笔，还能轻松应对 8英寸甚至12英寸 的大尺寸晶圆吸附，且吸附极其稳固。

2. 双重 HEPA 过滤系统

为了严控生产环境的粒子污染，FV-XP 在进气口和排气口均配备了可更换的 HEPA 过滤器。

• 过滤效率： 对 $0.3\ \mu m$ 以上颗粒的过滤率达 99.97%。

• 可视化维护： 泵体设有透明视窗，操作员无需拆机即可检查滤网的积尘状态，确保洁净输出。

3. 电磁驱动与免维护设计

该型号采用电磁驱动力代替传统马达，机械接触摩擦极低。

• 无油设计： 杜绝了润滑油泄露对真空系统的污染。

• 长寿命： 理论耐久值高，且运行噪音远低于普通旋转泵。

4. 全链路防静电 (ESD Safe)

机身采用添加了碳纤维的导电尼龙材料，配合导电螺旋管和接地端子，能够迅速耗散静电荷，防止在抓取贵重芯片时发生静电击穿（ESD）。