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膜厚测试仪,分为手持式和台式二种,手持式又有磁感应镀层测厚仪,电涡流镀层测厚仪,荧光X射线仪镀层测厚仪。
日本三高SANKO膜厚计可分为电磁式、涡电流式
如何选择合适的膜厚计
1)从上面的分类表中选择测量方法。
2)根据测量范围,精度,探头型号,测量目标等选择仪器类型。
原理
电磁感应式铁芯
将铁靠近线圈末端时,线圈的电感会随着距离的微小变化而变化。此更改用于测量薄膜厚度。
涡电流型
利用高频电场在金属表面感应出的涡电流的大小与膜厚之间的电关系,测量铁以外的金属基板上的绝缘膜的厚度。